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機械零部件的污垢主要有潤滑脂、自動清洗機防鏽油脂及其他混合物組成的油泥，可以采用堿性清洗液清洗、電化學清洗，也可采用超聲波清洗真空回收機機清洗，超聲波清洗機清洗是一個清洗的專門類別，屬工業清洗。
采用堿性清洗液清洗
堿性清洗液化學清洗的工藝流程為：裝掛-堿液清洗-水洗(50-90℃熱水)-干燥(熱壓縮空氣吹干超音波洗淨設備，要求較高的零部件，經壓縮空氣吹干後，還需要在105-1150C的電熱鼓風干燥箱中烘烤10分鐘。
采用堿性清洗液的電化學清洗
超聲波清洗應注意下列點：不噴洗機宜清洗機件表面較厚的油污，油污較厚時需采用高壓噴淋的方法進行預清洗，對於彈簧件、薄壁鋼件洗淨機，超高強度鋼件等不能在陰極上清洗(為避免材料滲氫，產生氫脆現像)；對銅、鋅、鎳等材料制成的機件不能在陽極上清洗(避免材料表面氧化)；定期進行電解液的定量分析，按分析結果補充化學試劑。
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